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Industrial and Medical Imaging

Leiter der Arbeitsgruppe: Dr.-Ing. Andreas Pösch 

Modifiziertes Rasterelektronenmikroskop (REM) Zeiss DSM 940A

Konzept:

  • Messsystem zur Anwendung der am imr entwickelten dreidimensionalen Rekonstruktionsmethode für REM Aufnahmen
  • Ausstattung der Probenkammer mit insgesamt vier Sekundärelektronendetektoren
  • Modifikation des Kollektorgitters zur optimierten Elektronenregistrierung


Ziel:

  • Dreidimensionale Messdatenerfassung mit einer Auflösung von ca. 50nm
  • Verlässliche Rekonstruktion von Flanken mit einem Steigungswinkel von ca. 70°

Heißprägeanlage HEX 03

Die Heißprägeanlage HEX 03 ist eine Präzisionsanlage zum Prägen und Warmabformen von mikrostrukturierten Werkzeugen in thermoplastische Kunststoffe.

Kernkomponent

  • Grundgerät zur Krafterzeugung
  • Vakuumkammer
  • Temperierung
  • Mikroskop

Umformung des Kunststoffes unter einem zeitlich definierten Temperatur-, Kraft und Vakuumverlauf.

Ausrichtung der Prägung an bereits auf dem Substrat vorhandenen Strukturen mittels:

  • integr. Messmikroskop
  • Substrat-Positioniereinheit
  • Steuersoftware

Technische Daten:

  • Prägekraft: bis 200 kN
  • Verfahrgeschwindigkeit: 1µm/min - 8mm/s
  • Druckkammer: bis 6 bar
  • Substratdurchmesser: bis 150 mm
  • Substrathöhe: bis 10 mm
  • Prägetemperatur: bis 320 °C

Anwendungsgebiete:

  • Mikrooptik 
  • Mikrofluidik
  • Mikromechanik
  • Medizintechnik

Polymere:

  • PMMA
  • POM
  • PC
  • PVDF
  • PSU

Werkzeugherstellung:

  • Mechanische Mikrotechnik
  • Lasermikrobearbeitung
  • LIGA - Verfahren

Rasterkraftmikroskop (AFM) SIS UltraObjective

Das AFM der Firma SIS lässt sich im kontaktlosen Modus und im Kontaktmodus betreiben und ist in einem Zeiss Mikroskop integriert, das sich sowohl als normales Lichtmikroskop als auch als Phasenkontrast und Dunkelfeldmikroskop betreiben lässt.

 

 Technische Daten:

  • Messfeldgröße: 300 µm x 300 µm
  • Vertikaler Messbereich. 20 µm
  • Vertikale Auflösung:  bis 0.1 nm
  • Lateriale Auflösung: bis wenige Nanometer (abhängig von Tastspitze)

Inverses Streifenprojektionssystem

Am IMR entwickeltes und aufgebautes 3D-Messsystem auf Basis von Streifenprojektion. Das System besteht aus einem Beamer (ACER P7500) und einer Industriekamera (AVT Pike 505B) und ist völlig frei mit Python und C/C++ programmierbar.

Es werden Algorithmen zur inversen Streifenprojektion im Rahmen des SFB 871 (Teilprojekt C2) implementiert und erforscht.

 

  • Kamera: AVT Pike 505B (5 MPixel)
  • Projektor: Acer P7500 (4000 ANSI Lumen)
  • Konventionelle und inverse Streifenprojektion

 

 

Charakterisierung mikrostrukturierter Oberflächen

Am IMR wird ein Messaufbau zur Charakterisierung mikrostrukturierter Oberflächen entwickelt. Mit dem Messsystem lassen sich mikroskopische Defektstellen auf großen Oberflächen finden. Außerdem ist die geometrische Erfassung der Oberflächenstruktur möglich.

Hauptkomponenten: 

  • verschiedene Kameras: High-Speed und hohe Auflösung
  • stark vergrößernde, telezentrische Objektive
  • Positioniereinheit mit 3 Achsen
  • LED und Laser-Beleuchtung

Forschung:

  • Geometrische Erfassung mikrostrukturierter Oberflächen
  • Suche und Identifikation von mikroskopischen Defektstellen auf großen Oberflächen
  • Mikroskopische Oberflächenuntersuchungen unter rauen, industriellen Bedingungen.

Labor- OP- Saal

Der Labor- OP- Saal ist mit Komponenten zur Patientenlagerung, -versorgung und Beleuchtung ausgestattet. Hierbei werden die Systeme TruSystem 7500, iLED und TruPort der Firma TRUMPF Medizin Systeme verwandt. Es lassen dadurch sehr viele OP- Prozeduren und Situationen eines herkömmlichen OP- Saales simulieren.

TruSystem 7500

iLED

TruPort

Es sind weiter Tiefensensoren im Labor integriert, die eine Raumüberwachung ermöglichen. Hierzu gehören TOF- (time of flight) Sensoren wie z.B. der MESA SR4000.

MESA SR4000