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Optische Messtechnik

Dozent:

Ansprechpartner:

Organisatorisches:

Termine:

Optische Messtechnik im Wintersemester angeboten.

  • Veranstaltungssemester: WS
  • Vorlesung: Montag, 17-18.30 Uhr, IMR, Seminarraum
  • Übung: nach Vereinbarung

Sprechstunden:

  • nach Vereinbarung

Vorlesungsinhalte:

  • Messverfahren zur Bestimmung der Makro- und Mikrogeometrie von Kleinstbauteilen
  • optische Mikrosensoren
  • strahlen- und wellenoptische Grundlagen
  • interferometrische Messverfahren
  • Interferenzmikroskopie (kohärent und Weißlicht)
  • konfokale Mikroskopie
  • Triangulationsverfahren
  • mikroskopische Streifenprojektion
  • Reflexions- und Autofokussensoren
  • faseroptische Sensoren
  • chromatische Sensoren
  • Anwendungen

Literaturhinweise:

  • Saleh, Teich: Fundamentals of Photonics (Wiley, 2007)
  • Hecht: Optics (Pearson, 2017)
  • Born, Wolf: Principles of Optics (Pergamon, 1986)
  • DiMarzio: Optics For Engineers (CRC, 2012)
  • Siegman: Lasers (University Science Books, 1986)

 

 

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