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Fertigungsmess- und Prüftechnik

Fertigungsmess- und Prüftechnik

  • Konfokales Weißlichtmikroskop (NanoFocus µsurf)

    Technische Daten:

    • Optisch 3D-Messgerät
    • Lichtquelle: 100W Xenon Kaltlichtquelle
    • CCD-Kamera: 1024x1024 Pixel
    • Lateraler Messbereich: 100x100mm (Schrittmotor)
    • Vertikaler Messbereich: 350µm (Piezoantrieb)
    • Optikmodule
      • Objektiv: 10x / 20x / 50x / 100x
      • Numerische Apertur: 0.3 / 0.46 / 0.8 / 0.95
      • Messfeld: 1600x1600µm / 800x800µm / 320x320µm / 160x160µm
      • Arbeisabstand: 10.1mm / 3.1mm / 0.66mm / 0.31mm
      • max. Steigungswinkel: 8.7° / 13.7° / 26.6° / 35.9°
      • Vertikale Auflösung: 20nm / 5nm / 2nm / 1nm

    Anwendungsgebiete:

    • Messung der Oberflächentopographien
    • Charakterisierung der Oberflächenrauheit
  • Konfokales Laserscanningmikroskop (Keyence VK-X200)

    Technische Daten

    • Optisches 3D-Messgerät
    • Lichtquelle: Klasse 2 Laser, 408 nm, 0.95mW
    • Scanningspiegel + Photo Multiplier Tube : 1024x768 Pixel
    • Lateraler Messbereich: 100x100mm (Schrittmotor)
    • Vertikaler Messbereich: 7mm (Piezoantrieb)
    • Optikmodule
      • Objektiv: 10x / 20x / 50x / 150x
      • Numerische Apertur: 0.3 / 0.46 / 0.95 / 0.95
      • Messfeld: 1.35x1.01mm / 0.68x0.51mm / 0.27x0.20mm / 0.09x0.07mm
      • Arbeisabstand: 16.5mm / 3.1mm / 0.35mm / 0.2mm

    Anwendungsgebiete

    • Messung der Oberflächentopographien
    • Charakterisierung der Oberflächenrauheit
    • Messung von Filmdicken

GRUPPENLEITER

PD Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Markus Kästner
Gruppenleitung
Adresse
An der Universität 1
30823 Garbsen
Gebäude
Raum
114
PD Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Markus Kästner
Gruppenleitung
Adresse
An der Universität 1
30823 Garbsen
Gebäude
Raum
114