Fertigungsmess- und Prüftechnik

• Konfokales Weißlichtmikroskop (NanoFocus µsurf)
  Technische Daten:

  • Optisch 3D-Messgerät
  • Lichtquelle: 100W Xenon Kaltlichtquelle
  • CCD-Kamera: 1024x1024 Pixel
  • Lateraler Messbereich: 100x100mm (Schrittmotor)
  • Vertikaler Messbereich: 350µm (Piezoantrieb)
  • Optikmodule
    • Objektiv: 10x / 20x / 50x / 100x
    • Numerische Apertur: 0.3 / 0.46 / 0.8 / 0.95
    • Messfeld: 1600x1600µm / 800x800µm / 320x320µm / 160x160µm
    • Arbeisabstand: 10.1mm / 3.1mm / 0.66mm / 0.31mm
    • max. Steigungswinkel: 8.7° / 13.7° / 26.6° / 35.9°
    • Vertikale Auflösung: 20nm / 5nm / 2nm / 1nm

  Anwendungsgebiete:

  • Messung der Oberflächentopographien
  • Charakterisierung der Oberflächenrauheit

• Konfokales Laserscanningmikroskop (Keyence VK-X200)

  Technische Daten

  • Optisches 3D-Messgerät

  • Lichtquelle: Klasse 2 Laser, 408 nm, 0.95mW

  • Scanningspiegel + Photo Multiplier Tube : 1024x768 Pixel

  • Lateraler Messbereich: 100x100mm (Schrittmotor)

  • Vertikaler Messbereich: 7mm (Piezoantrieb)

  • Optikmodule
    • Objektiv: 10x / 20x / 50x / 150x
    • Numerische Apertur: 0.3 / 0.46 / 0.95 / 0.95
    • Messfeld: 1.35x1.01mm / 0.68x0.51mm / 0.27x0.20mm / 0.09x0.07mm
    • Arbeisabstand: 16.5mm / 3.1mm / 0.35mm / 0.2mm

  Anwendungsgebiete

  • Messung der Oberflächentopographien
  • Charakterisierung der Oberflächenrauheit
  • Messung von Filmdicken

Gruppenleiter

PD Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Markus Kästner

Gruppenleitung
Fertigungsmess- und Prüftechnik

Telefon

+49 511 762 4286

E-Mail

markus.kaestnerimr.uni-hannover.de

Adresse

An der Universität 1
30823 Garbsen

Gebäude

8142

Raum

114

PD Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Markus Kästner

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An der Universität 1
30823 Garbsen

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8142

Raum

114